カラーフィルタの製造工程
カラーフィルタ工程は、ディスプレイパネルの製造工程の1つです。
カラーフィルタの製造工程
カラーフィルタの製造方法は多数存在しますが、顔料をベースとしたカラーレジストをガラス上に塗布し、露光や現像を伴うフォトリソグラフィ(フォトリソ)法が現在の主流です。フォトリソによる製造工程は次の通りです。
1.ブラックマトリクス形成(低反射クロム、樹脂)
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バックライトの光もれやRGBの混色防止のために、最初にブラックマトリクスを形成します。
2.カラーレジスト塗布
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ガラス基板全面に、カラーレジストを塗布します。
3.露光
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フォトマスクを介してパターン露光してUV硬化し、不溶化させます。
4.現像・ベーキング
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現像液によりカラーレジストの不要な部分を除去したあと、ベークにて硬化させます。
★「2～4」の繰り返し
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「カラーレジスト塗布」「露光」「現像・ベーキング」工程をRGB3色繰り返します。
5.ITO膜形成
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スパッタリング法を用いてITO(透明導電)膜を形成します。
6.PS工程
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2枚のガラス(カラーフィルタとTFTアレイ)のセルギャップをより高度に制御して画質の向上を図るため、フォトスペーサー(PS)を形成します。