高精細メタルマスク
TOPPANは、創業以来培ってきたフォトリソグラフィー技術を駆使して、スパッタ用の超高精細金属マスクを製造・販売しています。
高精度にエッチング工程をコントロールしてスパッタ用途に適した断面形状を形成するため、高い精度でパターンを成膜することが可能です。
開口パターン例
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【スロットタイプパターン例】
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【スリットタイプパターン例】
仕様
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基材(材質)
銅/鉄系金属(t=0.015~0.30mm) 最小加工寸法
開口径 材料板厚と同程度 スリット幅 材料板厚と同程度 ライン幅 材料板厚の50%程度 -
加工寸法精度 / 保証値
板厚 0.025mm 板厚 0.100mm 開口径 ±0.005 (±0.002)mm ±0.015mm スリット幅 ±0.005 (±0.002)mm ±0.015mm ライン幅 ±0.005 (±0.002)mm ±0.015mm ( )内は実績値