高精細メタルマスク

TOPPANは、創業以来培ってきたフォトリソグラフィー技術を駆使して、スパッタ用の超高精細金属マスクを製造・販売しています。
高精度にエッチング工程をコントロールしてスパッタ用途に適した断面形状を形成するため、高い精度でパターンを成膜することが可能です。

開口パターン例

  • 【スロットタイプパターン例】

  • 【スリットタイプパターン例】

仕様

  • 基材(材質)

    銅/鉄系金属(t=0.015~0.30mm)

    最小加工寸法

    開口径 材料板厚と同程度
    スリット幅 材料板厚と同程度
    ライン幅 材料板厚の50%程度
  • 加工寸法精度 / 保証値

    板厚 0.025mm 板厚 0.100mm
    開口径 ±0.005 (±0.002)mm ±0.015mm
    スリット幅 ±0.005 (±0.002)mm ±0.015mm
    ライン幅 ±0.005 (±0.002)mm ±0.015mm

    ( )内は実績値