大型導通ガラス・ガラスサブストレート

抵抗値の低い銅をガラス上にパターニングした、大型ガラス導通材を開発しました。
最大730mm×920mmの大型ガラス加工が可能で、各種装置用の大型配線基板や大面積の各種ガラスセンサーなど、さまざまな用途への展開が期待されます。
特長
- 抵抗値の低い銅を用いてガラス基板上にパターニング
- 大型ガラス加工に対応
→ 最大730mm×920mmに対応可能
層構成
仕様・ラインアップ
ガラスサイズ
面積 | 730×920mm | 620×750mm | 680×880mm |
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厚み | 0.5mm | 0.7mm |
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1層目配線
銅厚 | 0.30μm |
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シート抵抗値 | 0.1Ω/□ |
解像性(L/S) | 10μm/10μm |
2層目配線
銅厚 | 0.30μm |
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シート抵抗値 | 0.1Ω/□ |
解像性(L/S) | 10μm/10μm |
層間膜(アクリル樹脂)厚 | 1.0~2.5μm |
層間膜ホール径 | 20μm |
配線パターンイメージ(SEM画像)
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Cuライン:10~15μm
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Cu丸形状:10μm
- お客さまのご要望により、線幅や銅厚の調整等も可能です。